全柔性機構與MEMS

摘要：柔性機構是一種新型機構。首先描述了柔性機構和全柔性機構的概念及特點,論述了它們與MEMS之間的關系。然后詳細介紹了全柔性機構在MEMS領域內包括微裝配、微操作等應用背景下的狀況及前景。最后就對全柔性機構研究中的幾個關鍵技術問題如機構的分析、設計及加工,柔性鉸鏈的選擇與設計,驅動器的選擇及設計等進行了探討。Abstract：Compliant mechanisms are devices that deliver a desired motion by undergoing elastic deformation. A tyhttps://p.9136.com/1wpliant mechanisms is called fully compliant mechanism. Owing to their serveral significant advantages relative to c onventional mechanisms such as no backlash and friction, and no assembly, complia nt mechanisms especially fully compliant mechanisms have been applied to many fields especially in MEMS. So research on compliant mechanisms and fully compliant mechanisms has been a hot issue in recent years. This paper firstly describes their concepts, characteristics and applications in MEMS. Finally several critical techniques and tendencies such as the analysis, design and fabrication of fully compliant mechanisms, selection and design of flexure hinge, selection, desgin and control of the actuator etc. are discussed. 作者： 于靖軍  宗光華  畢樹生 Author： YU Jing-jun  ZONG Guang-hua  BI Shu-sheng 作者單位： 北京航空航天大學機器人研究所, 期 刊： 光學精密工程   ISTICEIPKU Journal： OPTICS AND PERCISION ENGINEERING 年，卷(期)： 2001, 9(1) 分類號： ATP23 關鍵詞： 柔性機構    全柔性機構    柔性鉸鏈    微型機電系統(tǒng)    機標分類號： TH1 TP2 機標關鍵詞： 全柔性機構    compliant mechanisms    elastic deformation    flexure hinge    設計    選擇    柔性鉸鏈    技術問題    微裝配    微操作    驅動器    狀況    應用    描述    加工    概念 基金項目： 國家自然科學基金，國家高技術研究發(fā)展計劃(863計劃) 全柔性機構與MEMS[期刊論文]  光學精密工程 --2001, 9(1)于靖軍  宗光華  畢樹生柔性機構是一種新型機構。首先描述了柔性機構和全柔性機構的概念及特點,論述了它們與MEMS之間的關系。然后詳細介紹了全柔性機構在MEMS領域內包括微裝配、微操作等應用背景下的狀況及前景。最后就對全柔性機構研究中的幾個...

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