MEMS薄膜彈性模量及殘余應(yīng)力提取的數(shù)值算法

材料彈性模量、殘余應(yīng)力的在線提取,已成為MEMS領(lǐng)域中日益迫切的需要.文中首先簡要介紹現(xiàn)有的一些主要的材料參數(shù)提取方法,然后提出了一種無需靜電作用下兩端固支梁吸合電壓的顯式解析表達(dá)式,而是利用決定靜電作用固支梁彎曲撓度的微分方程直接計(jì)算吸合電壓,再提取材料參數(shù)的算法.避免了在推導(dǎo)吸合電壓的顯式表達(dá)式過程中可能引入的誤差,有利于保證材料參數(shù)測(cè)量的精度.模擬結(jié)果表明這種算法速度快、精度高,對(duì)實(shí)際應(yīng)用有較好的參考價(jià)值.

作 者： 戎華 陳涵 王鳴 RONG Hua CHEN Han WANG Ming   作者單位： 南京師范大學(xué)光電技術(shù)江蘇省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,南京,210097  刊 名： 傳感技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS  年，卷(期)： 2008 21(3)  分類號(hào)： O484.2 O484.5  關(guān)鍵詞： 材料參數(shù)測(cè)量   數(shù)值算法   吸合電壓  

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