納米壓痕法研究PZT壓電薄膜的力學(xué)性能

PZT壓電薄膜的力學(xué)性能如彈性模量、硬度等對于MEMS器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計、結(jié)構(gòu)響應(yīng)特性、服役性能等尤為重要.薄膜材料由于尺寸效應(yīng)、表面效應(yīng)等的作用,力學(xué)性能與宏觀塊體材料有顯著差異.本文用納米壓痕法獲得了PZT壓電薄膜的彈性模量和硬度,考察了基底的影響,分析了退火時間對于其力學(xué)性能的影響,以及硬度和壓入深度之間的壓痕尺度效應(yīng).

作 者： 蔣銳 胡小方 許曉慧 伍小平 JIANG Rui HU Xiao-fang XU Xiao-hui WU Xiao-ping   作者單位： 蔣銳,胡小方,伍小平,JIANG Rui,HU Xiao-fang,WU Xiao-ping(中國科學(xué)技術(shù)大學(xué),中國科學(xué)院材料力學(xué)行為和設(shè)計重點實驗室,合肥,230027)

許曉慧,XU Xiao-hui(中國科學(xué)技術(shù)大學(xué),精密機械與精密儀器系,合肥,230027) 

刊 名： 實驗力學(xué)  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS  年，卷(期)： 2007 22(6)  分類號： O34 O48  關(guān)鍵詞： PZT壓電薄膜   納米壓痕法   壓痕尺度效應(yīng)  

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