雙電容接口式微機(jī)械陀螺的信號(hào)檢測(cè)方法

在研究雙電容接口式微機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu)與分析傳統(tǒng)差分電容檢測(cè)方法對(duì)其驅(qū)動(dòng)力的影響的基礎(chǔ)上,提出了一種適合于該陀螺的新型信號(hào)檢測(cè)方法,此方法具有兩個(gè)顯著特點(diǎn):第一,能夠使公共電容極板偏置到零電壓,消除其對(duì)驅(qū)動(dòng)力的影響,進(jìn)而提高微機(jī)械陀螺的系統(tǒng)靈敏度;第二,能夠消除直流電壓的不匹配以及失調(diào)電壓對(duì)輸出信號(hào)的影響.最后,通過(guò)HSPICE軟件仿真驗(yàn)證了該方法的可行性.

作 者： 莫冰 劉曉為 譚曉昀 尹亮 丁學(xué)偉 湯佳郁 MO Bing LIU Xiao-wei TAN Xiao-yun YIN Liang DING Xue-wei TANG Jia-yu   作者單位： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)MEMS中心,哈爾濱,150001  刊 名： 傳感技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS  年，卷(期)： 2006 19(5)  分類號(hào)： V2  關(guān)鍵詞： 微機(jī)械陀螺   驅(qū)動(dòng)力   雙電容接口   信號(hào)檢測(cè)  

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