多孔硅整流特性研究

從多孔硅的最基本的器件結構--金屬/多孔硅/硅入手,研究這種結構的電學性質:整流特性,對進一步理解和提高多孔硅的電致發(fā)光和多孔硅在其它一些電學方面的應用有著積極的意義.用電化學腐蝕法制得多孔硅,對多孔硅電化學氧化和氮氣氣氛下退火,研究這兩種后處理方式對多孔硅整流特性的影響.多孔硅經高濃度硫酸電化學氧化后,整流特性消失;多孔硅經氮氣氣氛下退火后,整流特性增強;分析了相應的機理.

作 者： 彭愛華 PENG Ai-hua   作者單位： 中國石油大學,華東,物理科學與技術學院,青島,266555  刊 名： 科學技術與工程  ISTIC 英文刊名： SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 9(21)  分類號： O472.4  關鍵詞： 多孔硅   整流特性   退火  

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