硅微陀螺儀的誤差分析

以z軸硅微陀螺儀為研究對(duì)象,對(duì)加工誤差產(chǎn)生的誤差信號(hào)進(jìn)行了分析.由于加工誤差,使得陀螺儀結(jié)構(gòu)不對(duì)稱,主要表現(xiàn)為支承梁不對(duì)稱、梳齒間距不等,產(chǎn)生了不等彈性、阻尼不對(duì)稱以及力不平衡這三種現(xiàn)象.以動(dòng)力學(xué)方程為基礎(chǔ),分析了不等彈性和阻尼不對(duì)稱產(chǎn)生的誤差信號(hào);以靜電理論為基礎(chǔ),分析了驅(qū)動(dòng)梳齒和敏感梳齒間距不等時(shí)產(chǎn)生的誤差信號(hào).分析結(jié)果表明,這些誤差信號(hào)包含了正交耦合誤差和與有用信號(hào)同相位的誤差信號(hào).最后,介紹了一種減小正交誤差的方法,并進(jìn)行了仿真.

作 者： 施芹 裘安萍 蘇巖 朱欣華 SHI Qin QIU An-ping SU Yan ZHU Xin-hua   作者單位： 南京理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院,南京,210094  刊 名： 傳感技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS  年，卷(期)： 2006 19(5)  分類號(hào)： V2  關(guān)鍵詞： 硅微陀螺儀   加工誤差   不等彈性   正交誤差  

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