一種增大MEMS平板電容驅動器有效行程的新方法

針對平板電容式靜電驅動器受拉入(Pull in)現(xiàn)象影響其有效驅動行程僅為平板間初始間距的1/3的問題,設計了一種新的復合彈性梁結構,并分析了其對驅動器有效驅動行程的影響.通過分析發(fā)現(xiàn),復合彈性梁的應用可以有效提高平板電容式靜電驅動器的有效行程至2.09μm,達到初始間距的44%.

作 者： 饒伏波 喬大勇 苑偉政 姜澄宇   作者單位： 西北工業(yè)大學微/納米系統(tǒng)實驗室  刊 名： 航空制造技術  ISTIC 英文刊名： AERONAUTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 ""(6)  分類號： V2  關鍵詞： 平板電容驅動器   有效行程   拉入   MEMS  

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